特許
J-GLOBAL ID:200903096112540361

ラミネート装置における搬送装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 樋口 盛之助 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-265764
公開番号(公開出願番号):特開2000-082833
出願日: 1998年09月04日
公開日(公表日): 2000年03月21日
要約:
【要約】【課題】 ラミネ-ト装置において、ラミネート機能を損なうことなく、リリ-スシ-ト機能を有し、被加工物を合理的に搬送する搬送装置を提供すること。【解決手段】 内部がダイアフラム9により仕切られる上チャンバ10と下チャンバ12を具備し、該下チャンバ12内に加熱装置11を有するか又は有しないラミネ-ト装置Lにおける被加工物Aを搬送する搬送装置であって、被加工物Aの下側に、搬送用のベルト14を、該ベルト14が前記チャンバの4辺のうち搬送方向の対向する2辺のみをまたいで通過するように配した。
請求項(抜粋):
内部がダイアフラムにより仕切られる上チャンバと下チャンバを具備し、該下チャンバ内に加熱装置を有するか又は有しないラミネート装置における被加工物を搬送する搬送装置であって、被加工物の下側に、搬送用のベルトを、該ベルトが前記チャンバの4辺のうち搬送方向の対向する2辺のみをまたいで通過するように配したことを特徴とするラミネート装置における搬送装置。
IPC (2件):
H01L 31/042 ,  H01M 14/00
FI (2件):
H01L 31/04 R ,  H01M 14/00 P
Fターム (7件):
5F051GA03 ,  5F051JA04 ,  5F051JA05 ,  5F051JA20 ,  5H032AA06 ,  5H032BB02 ,  5H032BB10
引用特許:
審査官引用 (15件)
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