特許
J-GLOBAL ID：200903096299194402

圧電アクチュエータ、インクジェットヘッド、およびそれらの製造方法

発明者：
安井 基博

安井 基博 について


出願人/特許権者：
ブラザー工業株式会社

ブラザー工業株式会社 について


代理人 (3件)： 後呂 和男 ,  村上 二郎 ,  水澤 圭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-044415
公開番号（公開出願番号）：特開2006-229154
出願日： 2005年02月21日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】 電極層の密着性を改善できる圧電アクチュエータ、インクジェットヘッドおよびその製造方法を提供することにある。【解決手段】 振動板2上に、エアロゾルデポジション法により、圧電層5を構成する材料と同一のPZTからなる密着層3を形成する。このとき、セラミックス材料であるPZTの粒子は比較的硬く、衝突の衝撃によって振動板2にめり込むため、密着層3が振動板2に強く密着する。そして、この密着層3上に、下部電極4を形成し、その上に圧電層5を重ねる。このとき、下部電極4を圧力室16の開口部16Aに対応する領域に設け、その周縁には密着層3が露出する露出領域3Aを設けておく。そして、この上に圧電層5を積層すると、露出領域3においては圧電層5が密着層3上に直接に積層され、密着層3と一体化する。したがって、下部電極4が密着層3と圧電層5からなるセラミックス層に閉じ込められて強固に固定される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板上にセラミックス材料により形成された密着層と、 前記密着層上に、周縁に前記密着層が露出された露出領域を残しつつ形成された一の電極層と、 前記一の電極層が設けられた前記密着層上に圧電材料の粒子を含むエアロゾルを噴き付けて前記粒子を付着させることにより前記露出領域および前記一の電極層を覆うように設けられた圧電層と、 前記圧電層上に設けられて前記一対の電極と対となる他の電極層と、 を備える圧電アクチュエータ。
IPC (7件)：
H01L 41/09 ,  H02N 2/00 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18
FI (7件)：
H01L41/08 C ,  H02N2/00 B ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 J
Fターム (5件)：
2C057AF93 ,  2C057AG47 ,  2C057AP14 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (8件)
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