特許
J-GLOBAL ID：200903097150940728
紫外線用石英ガラスおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
穂上 照忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-122033
公開番号（公開出願番号）：特開2001-302274
出願日： 2000年04月24日
公開日（公表日）： 2001年10月31日
要約：
【要約】【課題】エキシマレーザ光照射による透過率の低下が小さく、かつ屈折率の場所による変動の小さい紫外線用石英ガラスおよびその製造方法の提供。【解決手段】エネルギ密度が1ショットあたり100mJ/cm2以上の紫外光パルスレーザを106ショット照射した後の紫外光透過率低下が0.1%/cm以下であり、かつ紫外光域の屈折率の場所による変動が10-7以内の、密度が2.201〜2.205g/cm3で、OH基が重量比にて50ppm以下である紫外線用石英ガラス。および多孔質合成石英ガラス体を真空または不活性雰囲気中にて焼結し、さらに透明化をおこなった後、1600°C以上に加熱し冷却の過程で1000°C以上1300°C以下の温度にて5時間以上保持する熱処理をおこなう上記の紫外線用石英ガラスの製造方法。
請求項（抜粋）：
エネルギ密度が1ショット当たり200mJ/cm2以上の紫外光パルスレーザを106ショット照射した後の紫外光透過率低下が0.1%/cm以下であり、かつ紫外光域の屈折率の場所による変動が5×10-7以内であることを特徴とする紫外線用石英ガラス。
IPC (3件)：
C03C 3/06
, C03B 20/00
, G02B 1/02
C03C 3/06
, C03B 20/00 E
, G02B 1/02
4G014AH21
, 4G062AA04
, 4G062BB02
, 4G062CC07
, 4G062MM02
, 4G062NN16
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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