特許
J-GLOBAL ID:200903097249390550
ラビング装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武 (外9名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-181187
公開番号(公開出願番号):特開2000-019520
出願日: 1998年06月26日
公開日(公表日): 2000年01月21日
要約:
【要約】【課題】 ラビングロールの押し込み量を的確に制御することによって所定の表面配向力を持つ配向膜を得ることができるラビング装置を提供する。【解決手段】 本発明のラビング装置は、基板上に形成された配向膜にラビング処理を施すラビングロールと、ラビングロールを回転駆動するACサーボモータと、ラビングロール軸とACサーボモータとの間に両者に直結させて設けられたトルクメータと、トルクメータから検出されたトルクに基づいてラビングロールと基板との相対位置を調節する相対位置制御手段とを具備している。
請求項(抜粋):
基板上に形成された配向膜に押し付けられるラビングロールと、該ラビングロールを回転駆動する回転駆動装置と、ラビングロール軸と前記回転駆動装置との間に両者に直結させて設けられたトルクメータと、該トルクメータから検出されたトルクに基づいて前記ラビングロールと基板との相対位置を調節する相対位置制御手段とを具備してなることを特徴とするラビング装置。
Fターム (2件):
引用特許:
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