特許
J-GLOBAL ID：200903097693122170

セラミックス加熱治具

発明者：
狩野 正樹

狩野 正樹 について

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伊藤 賢治

伊藤 賢治 について

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佐藤 明

佐藤 明 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-349685
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168104
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 サセプタ等の熱変形、破損等の不具合が起こり難く、且つ急速な昇降温を行うことができ、また、高温となってもサセプタの平面度が保たれるセラミックス加熱治具を提供する。【解決手段】 被加熱物が載置されるサセプタ2と、該サセプタを加熱するセラミックスヒータ3と、該セラミックスヒータからの熱を遮断する少なくとも1枚の遮熱板4からなるセラミックス加熱治具であって、サセプタ及び遮熱板が、セラミックスヒータとそれぞれ所定の間隔を設けて挟むように配置され、サセプタの厚さが0.5mm以上5mm以下であり、セラミックスヒータ及び遮熱板の厚さが0.5mm以上3mm以下であることを特徴とするセラミックス加熱治具。好適には、各部材間の間隔が0.5mm以上10mm以下であり、弾力手段6と抑止手段7により一体的且つ弾力的に挟持される。
請求項（抜粋）：
被加熱物が載置されるサセプタと、該サセプタを加熱するセラミックスヒータと、該セラミックスヒータからの熱を遮断する少なくとも1枚の遮熱板からなるセラミックス加熱治具であって、サセプタ及び遮熱板が、セラミックスヒータとそれぞれ所定の間隔を設けて挟むように配置され、サセプタの厚さが0.5mm以上5mm以下であり、セラミックスヒータの厚さが0.5mm以上3mm以下であり、遮熱板の厚さが0.5mm以上3mm以下であることを特徴とするセラミックス加熱治具。
IPC (6件)：
H01L 21/324 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/00 320 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/14
FI (6件)：
H01L 21/324 Q ,  H01L 21/22 501 G ,  H01L 21/68 N ,  H05B 3/00 320 Z ,  H05B 3/10 C ,  H05B 3/14 B
Fターム (24件)：
3K058AA00 ,  3K058BA00 ,  3K058CA23 ,  3K058CA24 ,  3K058CA69 ,  3K058CA91 ,  3K058CA92 ,  3K058CE13 ,  3K058GA03 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092SS02 ,  3K092SS03 ,  3K092SS16 ,  3K092TT07 ,  3K092TT21 ,  3K092TT22 ,  3K092VV26 ,  5F031DA13 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA37
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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