特許
J-GLOBAL ID：200903097893286313
光入出力素子アレイ装置の製造法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-116325
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307878
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 光入出力素子アレイ装置のコストを概略1/mn倍に低減する。また、光入出力素子アレイ装置に高密度に光素子を配列する。【解決手段】 第1の基板上に、光入出力素子アレイ装置の素子配列の間隔よりも小さな配列間隔で光素子を形成し、前記第1の基板上の光素子のうち、光入出力素子アレイ装置の素子配列の配列間隔に対応した光素子を光入出力素子アレイ装置基板に選択的に転写配列することにより、光入出力素子アレイ装置を製造する。ここで、前記第1の基板上に形成する光素子配列間隔dr、dsを、光入出力素子アレイ装置の素子配列の横、縦の配列間隔dx、dyを2以上の自然数m、nで除したdx/m、dy/nの間隔とする。
請求項（抜粋）：
第1の基板上に、光入出力素子アレイ装置の素子配列の間隔よりも小さな配列間隔で光素子を形成するプロセスと、前記第1の基板上の光素子のうち、光入出力素子アレイ装置の素子配列の配列間隔に対応した光素子を、光入出力素子アレイ装置基板に選択的に転写配列するプロセスと、を有することを特徴とする光入出力素子アレイ装置の製造法。
IPC (4件)：
H01S 3/18
, H01L 21/02
, H01L 31/0232
, H01L 33/00
H01S 3/18
, H01L 21/02 B
, H01L 33/00 M
, H01L 31/02 C
