走査型トンネル顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：蛭川昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-106231
公開番号（公開出願番号）：特開2000-298091
出願日： 1999年04月14日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
要約：

【要約】【課題】雰囲気の異なる環境下での像観察を容易に行えるようにし、かつ設定した環境下での像観察であるか否かの確認が行えるようにする。【解決手段】試料ステージ17(19)と、該ステージ上に配置された試料18に対向して設けられた探針16が取り付けられたスキャナー14と、スキャナーを駆動する粗動機構13と、電極端子20とを一体化して設けたセルユニット5と、該セルユニットを把持するピンが先端部に形成された搬送ロッド3とを備え、前記搬送ロッドによりセルユニットを把持して異なる環境の真空チャンバ8、9間を移動可能にしたものである。

請求項（抜粋）：

試料ステージと、該ステージ上に配置された試料に対向して設けられた探針が取り付けられたスキャナーと、スキャナーを駆動する粗動機構と、電極端子とを一体化して設けたセルユニットと、該セルユニットを把持するピンが先端部に形成された搬送ロッドとを備え、前記搬送ロッドによりセルユニットを把持して異なる環境の真空チャンバ間を移動可能にしたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 13/10 , G01B 7/34 , G01B 21/30 , G01N 13/12

FI (4件)：

G01N 13/10 D , G01B 7/34 Z , G01B 21/30 Z , G01N 13/12 A

Fターム (32件)：

2F063AA04 , 2F063AA43 , 2F063CA40 , 2F063DB01 , 2F063DB05 , 2F063DD02 , 2F063EA16 , 2F063FA07 , 2F063FA16 , 2F063NA02 , 2F063PA02 , 2F063PA04 , 2F063ZA01 , 2F063ZA05 , 2F069AA04 , 2F069AA60 , 2F069DD30 , 2F069EE02 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG62 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069JJ25 , 2F069KK01 , 2F069KK07 , 2F069KK10 , 2F069LL03 , 2F069MM01 , 2F069MM31 , 2F069PP01 , 2F069PP06

引用特許：

出願人引用 (14件)

特開昭63-236991
特開平1-097803
特開平2-134502

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