特許
J-GLOBAL ID：200903098496203912
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西川 惠清
, 森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-374655
公開番号（公開出願番号）：特開2006-184014
出願日： 2004年12月24日
公開日（公表日）： 2006年07月13日
要約：
【課題】塵や微小な異物等の侵入による不具合の発生を防止する。【解決手段】枠体28は縦横の外形寸法が支持基板1,2とほぼ同一である矩形枠状に形成される。枠体28の裏面には支持基板2を接合するためのアルミからなる接合部29が形成されている。したがって、接合部29において枠体28の裏面に支持基板1を接合するとともに支持基板2を枠体28の表面に陽極接合すれば、2枚の支持基板1,2と枠体28によって重り部21、ばね部22、支持部231,232、固定電極部24、ストッパ25、可動電極21aなどが全て密封されるため、微小な塵や異物等が内部に侵入することがなく、かかる異物等によって重り部21の変位が阻害されるなどの不具合を防ぐことができて信頼性が向上する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
支持基板と、支持基板の一表面側において支持基板から離間して配置された重り部と、支持基板の前記一表面側に固着され前記一表面に沿って重り部を規定方向に変位可能とするばね部を介して重り部を支持する少なくとも一組の支持部と、重り部の側方において支持基板の前記一表面側に固着され前記規定方向が厚さ方向となるように列設された複数の薄板状の固定電極を有する櫛形状の固定電極部と、隣り合う固定電極間の櫛溝に1つずつ入り込み前記規定方向へ変位可能となるように重り部に設けられた複数の薄板状の可動電極と、重り部、支持部、固定電極部、可動電極を支持基板の前記一表面に沿った方向から囲う枠状に形成されて支持基板の当該一表面側に固定される枠体と、枠体を挟んで支持基板と対向するように枠体を覆う第2の支持基板とを備えたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112DA02
, 4M112DA03
, 4M112DA08
, 4M112DA11
, 4M112DA15
, 4M112DA16
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112FA20
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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