特許
J-GLOBAL ID：200903098684850526
光学波長板及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-053252
公開番号（公開出願番号）：特開2005-242083
出願日： 2004年02月27日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：
【課題】所望の位相差を有する微細周期構造の光学波長板を得る。【解決手段】屈折率n1を有する誘電体基板1上に、屈折率n1よりも大きい屈折率n2を有するアモルファス誘電体媒質2を被覆し、このアモルファス誘電体媒質2にエッチングにより矩形格子3を形成する。そして、熱処理により誘電体媒質2に微結晶を生成し屈折率n2を大きくすると、構造複屈折の大きさΔnが大きくなるので、矩形格子3の溝深さDを大きくすることなく、矩形格子3による凹凸状格子パターンの位相差ΔΦが大きくなる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも1種類から成る誘電体媒質を基板上にアモルファス状態で成膜し、前記誘電体媒質をエッチングして使用する波長以下の周期構造を有する凹凸状格子パターンを製造したことを特徴とする光学波長板。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2H049BA06
, 2H049BA45
, 2H049BC08
, 2H049BC21
出願人引用 (13件)
全件表示
審査官引用 (13件)
全件表示
前のページに戻る
