特許
J-GLOBAL ID:201003015478144168

被成型品保持装置、型保持装置および転写装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 正林 真之 ,  林 一好
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-262634
公開番号(公開出願番号):特開2010-093105
出願日: 2008年10月09日
公開日(公表日): 2010年04月22日
要約:
【課題】型の平面状の部位に形成されている微細な転写パターンを、平板状の被成型品の厚さ方向の一方の面に転写するときに、転写不良の発生を抑制する。【解決手段】型Mに形成されている微細な転写パターンを、被成型品Wに転写するときに、被成型品Wを保持する被成型品保持装置5において、平板状に形成され厚さ方向の一方の面の中央部で被成型品Wを保持する被成型品保持体15と、平板状に形成され被成型品保持体15から離れて設けられたベース部材17と、被成型品保持体15とベース部材17とで挟まれ、被成型品保持体15の厚さ方向から見たときに、被成型品保持体15の中央部に設けられている緩衝材19とを有する。【選択図】図5
請求項(抜粋):
型の平面状の部位に形成されている微細な転写パターンを、平板状の被成型品の厚さ方向の一方の面に転写するときに、前記被成型品を保持する被成型品保持装置において、 平板状に形成され、厚さ方向の一方の面の中央部に前記被成型品の厚さ方向の他方の面を接触させて前記被成型品を保持する被成型品保持体と; 平板状に形成され、前記被成型品保持体の厚さ方向の他方の側で前記被成型品保持体から離れて設けられたベース部材と; 前記被成型品保持体と前記ベース部材とで挟まれ、前記被成型品保持体の厚さ方向から見たときに、前記被成型品保持体の中央部に設けられている緩衝材と; を有することを特徴とする被成型品保持装置。
IPC (1件):
H01L 21/027
FI (1件):
H01L21/30 502D
Fターム (1件):
5F046AA28
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 微小型押成形装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-190094   出願人:株式会社エリオニクス
審査官引用 (12件)
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