特許
J-GLOBAL ID：201003018607683100

感光性樹脂組成物、物品、及びパターン形成方法

発明者：
坂寄 勝哉

坂寄 勝哉 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 岸本 達人 ,  山下 昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-251134
公開番号（公開出願番号）：特開2010-085430
出願日： 2008年09月29日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】最終的に得られるポリイミドの化学構造を問わず溶解性コントラストを得られ、形状が良好なパターンを得ることができ、簡便に合成できて安価に入手可能な、感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】側鎖にヘミアセタール構造を有する下記式(1)で表わされる繰り返し単位を有するポリイミド前駆体、及び、光の作用によりカルボン酸を発生させる化合物を含有する、感光性樹脂組成物である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記式(1)で表わされる繰り返し単位を有するポリイミド前駆体、及び、光の作用によりカルボン酸を発生させる化合物を含有する、感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/023 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  G02B 5/20
FI (6件)：
G03F7/023 ,  C08G73/10 ,  G03F7/028 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  G02B5/20 101
Fターム (75件)：
2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H048BA02 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  4J043PA19 ,  4J043QB31 ,  4J043RA06 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA041 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA142 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA161 ,  4J043UA222 ,  4J043UA262 ,  4J043UA361 ,  4J043UA461 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB132 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB282 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB351 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA052 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA092 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA21 ,  4J043ZB22
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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