特許
J-GLOBAL ID:201003033648915863

触覚センサおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 東口 倫昭 ,  進藤 素子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-294949
公開番号(公開出願番号):特開2010-122018
出願日: 2008年11月18日
公開日(公表日): 2010年06月03日
要約:
【課題】荷重を、圧縮力、剪断力に簡単に分解可能な触覚センサおよびその製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】触覚センサ1は、荷重F1を、剪断力F1sと圧縮力F1cとに分解して検出可能である。触覚センサ1は、剪断力検出用表側電極層20と剪断力検出用裏側電極層21と剪断力検出用誘電層22とを有し、有効電極面積S1が剪断力F1sにより変化することを利用して、剪断力F1sの変化を検出可能な剪断力検出部2と、圧縮力検出用表側電極層30と圧縮力検出用裏側電極層31と圧縮力検出用誘電層32とを有し、圧縮力検出用誘電層32の層厚T1が圧縮力F1cにより変化することを利用して、圧縮力F1cの変化を検出可能な圧縮力検出部3と、絶縁層4と、を備える。【選択図】図4
請求項(抜粋):
接触対象物から荷重が入力される入力面を有し、該荷重を、該入力面の略面展開方向に加わる剪断力と、該入力面の略法線方向に加わる圧縮力と、に分解して検出可能な触覚センサであって、 剪断力検出用表側電極層と、剪断力検出用裏側電極層と、該剪断力検出用表側電極層と該剪断力検出用裏側電極層との間に介装されるエラストマー製の剪断力検出用誘電層と、を有し、前記剪断力により該剪断力検出用誘電層が弾性変形することで、該剪断力検出用表側電極層と該剪断力検出用裏側電極層とが表裏方向に重複して形成される有効電極面積が変化し、該有効電極面積の変化により静電容量が変化することを利用して、該剪断力の変化を検出可能な剪断力検出部と、 圧縮力検出用表側電極層と、圧縮力検出用裏側電極層と、該圧縮力検出用表側電極層と該圧縮力検出用裏側電極層との間に介装されるエラストマー製の圧縮力検出用誘電層と、を有し、前記圧縮力により該圧縮力検出用誘電層が弾性変形することで、該圧縮力検出用誘電層の層厚が変化し、該層厚の変化により静電容量が変化することを利用して、該圧縮力の変化を検出可能な圧縮力検出部と、 該剪断力検出部と該圧縮力検出部との間に介装され、該剪断力検出部と該圧縮力検出部との間の絶縁を確保する絶縁層と、 を備えてなることを特徴とする触覚センサ。
IPC (1件):
G01L 5/00
FI (1件):
G01L5/00 101Z
Fターム (3件):
2F051AA10 ,  2F051AB06 ,  2F051BA07
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 特開平3-113334号公報
  • 特開昭63-113326号公報
  • 触覚センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-277194   出願人:富士電機株式会社
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審査官引用 (9件)
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