特許
J-GLOBAL ID：201003041614988392
ダイシング・ダイボンドフィルム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-093430
公開番号（公開出願番号）：特開2010-177699
出願日： 2010年04月14日
公開日（公表日）： 2010年08月12日
要約：
【課題】ダイシング時の半導体ウェハの保持力と、ピックアップ時の剥離性とのバランス特性に優れるダイシング・ダイボンドフィルムを提供する。【解決手段】基材上に粘着剤層を有するダイシングフィルムと、粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルムとを有するダイシング・ダイボンドフィルムであって、粘着剤層は、主モノマーとしてのアクリル酸エステルと、アクリル酸エステルに対し含有量が10〜40モル%の範囲内のヒドロキシル基含有モノマーと、ヒドロキシル基含有モノマーに対し含有量が70〜90モル%の範囲内のラジカル反応性炭素-炭素二重結合を有するイソシアネート化合物とを含むポリマーを含み構成され、かつ、基材上に成膜された後に所定条件下で紫外線照射されたものであり、ダイボンドフィルムはエポキシ樹脂を含み構成され、かつ、紫外線照射後の粘着剤層に対し貼り合わされたものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基材上に粘着剤層を有するダイシングフィルムと、該粘着剤層上に設けられたダイボンドフィルムとを有するダイシング・ダイボンドフィルムであって、
前記粘着剤層は、主モノマーとしてのアクリル酸エステルと、アクリル酸エステルに対し含有量が10〜40mol%の範囲内のヒドロキシル基含有モノマーと、ヒドロキシル基含有モノマーに対し含有量が70〜90mol%の範囲内のラジカル反応性炭素-炭素二重結合を有するイソシアネート化合物とを含むポリマーを含み構成され、かつ、所定条件下での紫外線照射により硬化されたものであり、
前記ダイボンドフィルムはエポキシ樹脂を含み構成され、かつ、紫外線照射後の粘着剤層に対し貼り合わされたものであることを特徴とするダイシング・ダイボンドフィルム。
IPC (5件)：
H01L 21/301
, C09J 7/02
, C09J 133/06
, C09J 175/14
, H01L 21/52
H01L21/78 M
, H01L21/78 Q
, C09J7/02 Z
, C09J133/06
, C09J175/14
, H01L21/52 E
4J004AA01
, 4J004AA10
, 4J004AA14
, 4J004AB01
, 4J004AB07
, 4J004CA06
, 4J004CE01
, 4J004DB02
, 4J004DB03
, 4J004FA04
, 4J004FA05
, 4J004GA01
, 4J040DF021
, 4J040DF061
, 4J040EF221
, 4J040FA291
, 4J040JA09
, 4J040JB08
, 4J040JB09
, 4J040MA01
, 4J040MA10
, 4J040NA20
, 5F047BA21
, 5F047BB19
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (9件)
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