特許
J-GLOBAL ID：201003053750374304
XYステージ装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松山 允之
, 池上 徹真
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-085648
公開番号（公開出願番号）：特開2010-238933
出願日： 2009年03月31日
公開日（公表日）： 2010年10月21日
要約：
【目的】レーザー干渉計による位置測長部位がXY方向に運動するXYステージにおいて、空気揺らぎと気圧、温度、湿度を含めた環境の変化による測長誤差を補正できるXYステージ装置を提供する。【構成】XY方向に移動するステージと、このステージの位置を測長するためのレーザー干渉計と、このステージとレーザー干渉計間の測長光路の少なくとも一部を覆う測長光路筒機構と、測長光路筒機構内に設けられた波長トラッカーと、を有することを特徴とするXYステージ装置。そして、測長光路筒機構が、レーザー干渉計に固定される固定筒と、ステージの移動と連動して運動する可動筒とを備えることが望ましい。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
XY方向に移動するステージと、
前記ステージの位置を測長するためのレーザー干渉計と、
前記ステージと前記レーザー干渉計間の測長光路の少なくとも一部を覆う測長光路筒機構と、
前記測長光路筒機構内に設けられた波長トラッカーと、
を有することを特徴とするXYステージ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, H01L 21/68
H01L21/30 516B
, G03F7/20 521
, H01L21/68 K
5F031HA57
, 5F031JA06
, 5F031JA22
, 5F031KA06
, 5F046BA03
, 5F046CC01
, 5F046CC03
, 5F046CC15
, 5F046CC16
, 5F046CC17
, 5F046DA07
, 5F046DA27
出願人引用 (8件)
全件表示
審査官引用 (8件)
全件表示
前のページに戻る
