特許
J-GLOBAL ID：201003060350742289
極端紫外光源装置及びクリーニング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (3件)：
宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-009170
公開番号（公開出願番号）：特開2010-186995
出願日： 2010年01月19日
公開日（公表日）： 2010年08月26日
要約：
【課題】チャンバ内に配置された光学素子等の部品に付着したデブリを排除することができる極端紫外光源装置を提供する。【解決手段】この極端紫外光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内にターゲット物質を供給するターゲット物質供給部と、ターゲット物質にドライバ用パルスレーザ光を照射してプラズマを生成するドライバレーザ装置と、クリーニング用パルスレーザ光を射出するクリーニングレーザ装置と、チャンバ内に設置された部品にクリーニング用パルスレーザ光を照射することにより、該部品の表面に付着したデブリを除去するように、クリーニングレーザ装置から射出されるクリーニング用パルスレーザ光の照射位置を制御する制御部とを含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ターゲット物質にドライバ用パルスレーザ光を照射してターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内に前記ターゲット物質を供給するターゲット物質供給部と、
前記ターゲット物質にドライバ用パルスレーザ光を照射してプラズマを生成するドライバレーザ装置と、
クリーニング用パルスレーザ光を射出するクリーニングレーザ装置と、
前記チャンバ内に設置された部品にクリーニング用パルスレーザ光を照射することにより、前記部品の表面に付着したデブリを除去するように、前記クリーニングレーザ装置から射出されるクリーニング用パルスレーザ光の照射位置を制御する制御部と、
を具備する極端紫外光源装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 531S
, H05G1/00 K
, H01L21/30 531A
4C092AA06
, 4C092AA10
, 4C092AA15
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD14
, 4C092BD18
, 5F046GB09
, 5F046GC03
