特許
J-GLOBAL ID:201003076675814948

屈曲振動片およびそれを用いた発振器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-073738
公開番号(公開出願番号):特開2010-226608
出願日: 2009年03月25日
公開日(公表日): 2010年10月07日
要約:
【課題】Q値の低下が抑えられた小型の屈曲振動片、および、それを用いた発振器を提供する。【解決手段】音叉型水晶振動片50は、基部52と、この基部52の一端側から延出する一対の振動腕53,54と、からなる音叉型の外形を有し、各振動腕53,54の一方の主面側において、各振動腕53,54の基部52との付け根近傍を含む領域には、各振動腕53,54それぞれの長手方向に沿って設けられた一本の直線状の有底の溝56a,57aと、各溝56a,57aに埋設された金などの熱伝導率の高い埋め込み部材56b,57bとからなる熱伝導路56,57が形成されている。同様に、各振動腕53,54の他方の主面側において、一方の主面側の溝56a,57aと対向する位置に開口部を有して設けられた有底の溝66a,67aと、各溝66a,67aに埋設された金からなる埋め込み部材66b,67bとからなる熱伝導路66,67が形成されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
振動により圧縮応力または引張応力が作用する第1の領域と、前記第1の領域に圧縮応 力が作用する場合は引張応力が作用し前記第1の領域に引張応力が作用する場合は圧縮応 力が作用する関係にある第2の領域と、を有する屈曲振動体からなり、 前記第1の領域と前記第2の領域の間に、前記屈曲振動体の振動方向と平行な両主面の うち少なくともいずれか一方の主面側に開口部を有する溝と、該溝に埋設された前記屈曲 振動体よりも高い熱伝導率を有する埋め込み部材とからなる熱伝導路を有することを特徴 とする屈曲振動片。
IPC (6件):
H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/187
FI (11件):
H03H9/19 K ,  H03H9/215 ,  H03H9/19 J ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 K ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D
Fターム (12件):
5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108FF02 ,  5J108HH01 ,  5J108HH06 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02
引用特許:
審査官引用 (18件)
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