特許
J-GLOBAL ID：201003078477059584
偏光純度制御装置及びそれを備えたガスレーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (9件)：
小山 卓志
, 田中 貞嗣
, 阿部 龍吉
, 菅井 英雄
, 青木 健二
, 韮澤 弘
, 米澤 明
, 飯高 勉
, 片寄 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-213529
公開番号（公開出願番号）：特開2010-050299
出願日： 2008年08月22日
公開日（公表日）： 2010年03月04日
要約：
【課題】 機械応力やガス応力等により破損する現象を低減し、偏光純度を高くすると共に、強い紫外線レーザ光照射による劣化を抑制するフッ化カルシウム結晶を用いた偏光純度制御装置及びそれを備えたガスレーザ装置を提供する。【解決手段】 レーザ光を透過するフッ化カルシウム結晶基板31と、フッ化カルシウム結晶基板31を透過したレーザ光の偏光純度を計測する偏光モニタ35と、偏光モニタ35の計測した偏光純度に応じてフッ化カルシウム結晶基板31の回転角を制御するコントローラ36と、を備えた偏光純度制御装置30において、フッ化カルシウム結晶基板31は、(111)結晶面に平行な入射平面及び射出平面を有する平板からなり、入射角をブリュースタ角で設置され、[111]軸を中心軸としてコントローラ36により回転角を制御される。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
レーザ光を透過するフッ化カルシウム結晶基板と、
フッ化カルシウム結晶基板を透過したレーザ光の偏光純度を計測する偏光モニタと、
前記偏光モニタの計測した偏光純度に応じて前記フッ化カルシウム結晶基板の回転角を制御するコントローラと、
を備えた偏光純度制御装置において、
前記フッ化カルシウム結晶基板は、
(111)結晶面に平行な入射平面及び射出平面を有する平板からなり、
入射角をブリュースタ角で設置され、
[111]軸を中心軸として前記コントローラにより回転角を制御される
ことを特徴とする偏光純度制御装置。
IPC (4件)：
H01S 3/034
, H01L 21/027
, G03F 7/20
, H01S 3/136
H01S3/03 G
, H01L21/30 515B
, G03F7/20 505
, H01S3/136
2H097CA17
, 2H097CA19
, 2H097GB01
, 2H097GB02
, 2H097GB03
, 5F046BA04
, 5F046BA05
, 5F046CA04
, 5F046CB15
, 5F071AA06
, 5F071DD04
, 5F172AD07
, 5F172NR13
, 5F172NR30
出願人引用 (3件)
審査官引用 (7件)
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