特許
J-GLOBAL ID：201003085676459172
圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ、及び、液体移送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
梶 良之
, 須原 誠
, 木村 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-081289
公開番号（公開出願番号）：特開2010-232604
出願日： 2009年03月30日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：
【課題】活性部の圧電特性をほぼ所望の特性にする圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ及び液体移送装置を提供する。【解決手段】3枚のグリーンシートの一表面に、スクリーン印刷により上部電極45、中間電極44a及び下部電極43をそれぞれ形成し、これらのグリーンシートを積層し、所定の温度で焼成し(積層工程)、圧電体55を形成する。そして、平面視で第1活性部R1と重なる領域にある第1活性部R1以外の、下部圧電層40及び中間圧電層41を下部圧電層40側(第1活性部R1から離れた面側)から除去し、貫通孔40a、41aを形成する(除去工程)。次に、圧電体55の下部圧電層40の表面に、振動板52を押圧して接合して(接合工程)、圧電アクチュエータを製造する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
厚み方向の一部に第1活性部を有する圧電体と、前記圧電体の線膨張係数より大きい材料で形成され、前記圧電体の一表面に接合された振動板と、を有する圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記第1活性部は、前記圧電体の中立面に対して厚み方向に関する一方側に偏って配置されており、
前記圧電体を形成する圧電体形成工程と、
前記圧電体の、平面視で前記第1活性部と重なる領域にある、前記第1活性部以外の部分の厚み方向に関する少なくとも一部を除去する除去工程と、
前記圧電体と前記振動板を加熱し、押圧して接合する加熱接合工程と、を備えており、
前記除去工程において、前記圧電体の中立面に対して厚み方向に関する前記一方側と反対側に配置された、平面視で前記第1活性部と重なる領域にある前記第1活性部以外の部分の厚み方向に関する少なくとも一部を前記第1活性部から離れた面側から除去することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (7件)：
H01L 41/22
, H01L 41/083
, H01L 41/187
, H01L 41/24
, B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
H01L41/22 Z
, H01L41/08 S
, H01L41/08 Q
, H01L41/08 P
, H01L41/18 101D
, H01L41/22 A
, H01L41/22 B
, H01L41/08 N
, B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
2C057AF93
, 2C057AG48
, 2C057AG56
, 2C057AP02
, 2C057AP16
, 2C057AP27
, 2C057AP35
, 2C057AP90
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (6件)
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