特許
J-GLOBAL ID：201003090191981613
ナノインプリント用モールドの離型剤塗布状態検査方法およびパターン形成方法。
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
金山 聡
, 深町 圭子
, 伊藤 英生
, 藤枡 裕実
, 後藤 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-321900
公開番号（公開出願番号）：特開2010-143042
出願日： 2008年12月18日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：
【課題】ナノインプリント用モールド表面に形成した離型剤の塗布状態を微視的に検査する方法であって、微細な凹凸パターンの凹部パターン底面を含め、モールド表面が離型作用を受けるに十分な量の離型剤で均一に被覆されているか否かを迅速かつ簡便に知ることができる検査方法およびパターン形成方法を提供する。【解決手段】表面に凹凸パターンを有し、前記凹凸パターン上に離型剤が塗布形成されたナノインプリント用モールドの離型剤の塗布状態の検査方法であって、走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーを用いて、前記離型剤が塗布形成された凹凸パターンの測定領域において、前記カンチレバーの探針先端と前記離型剤が塗布形成された凹凸パターンとの間に働くフォースカーブから前記探針と前記凹凸パターン表面の離型剤との間の付着力を計測し、前記付着力より前記離型剤の塗布状態を評価することを特徴とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
表面に凹凸パターンを有し、前記凹凸パターン上に離型剤が塗布形成されたナノインプリント用モールドの離型剤の塗布状態の検査方法であって、
走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーを用いて、前記離型剤が塗布形成された凹凸パターンの測定領域において、前記カンチレバーの探針先端と前記離型剤が塗布形成された凹凸パターンとの間に働くフォースカーブから前記探針と前記凹凸パターン表面の離型剤との間の付着力を計測し、
前記付着力より前記離型剤の塗布状態を評価することを特徴とするナノインプリント用モールドの離型剤の塗布状態の検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B29C59/02 Z
, H01L21/30 502D
4F209AD08
, 4F209AG01
, 4F209AP01
, 4F209AQ00
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PN06
, 4F209PN13
, 4F209PQ11
, 4F209PQ14
, 5F046AA28
, 5F046DB05
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (5件)
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