化学増幅型ポジ型レジスト組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中山亨
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-203648
公開番号（公開出願番号）：特開2001-222113
特許番号：特許第4529245号
出願日： 2000年07月05日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】環内に重合性炭素-炭素二重結合を有する脂環式炭化水素に下式(I) (式中、R1は炭素数1〜4のアルキルを表し、Rはシクロヘキシル、アルキルシクロヘキシル、ヒドロキシシクロヘキシル、オキソシクロヘキシル又はノルボルニルを表し、R2は炭素数1〜4のアルキルを表す) で示されるカルボン酸エステル基が結合した脂環式不飽和カルボン酸エステルから導かれる重合単位、及び無水マレイン酸から導かれる重合単位を有し、それ自体はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリ可溶となる樹脂、並びに酸発生剤を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。

IPC (1件)：