特許
J-GLOBAL ID：201103003853137602
磁気ヘッド素子の研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-234358
公開番号（公開出願番号）：特開2002-331452
特許番号：特許第4408334号
出願日： 2001年08月02日
公開日（公表日）： 2002年11月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の磁気ヘッド素子を直線状に整列させたロウ・バーからなるワークを回転する研磨定盤上で研磨する研磨装置であって、前記研磨定盤をまたぐ形で設置されたブリッジと、スライダーテーブルを有する往復運動駆動装置と、ワークを保持するためのワーク保持装置と、前記ワークの被研磨面と前記研磨定盤の研磨面との相対方位を調節する角度調節装置と、前記往復運動駆動装置の運動方向に対してほぼ直交する方向に可動するロック機構付きスライドガイドを有するL型スライド板とを備え、前記ワークの長手方向が前記研磨定盤の回転半径方向に対して略平行になるようにしてシート状粘着性弾性体を介して前記ワークを前記ワーク保持装置に配置し、前記研磨定盤に対して前記ワークの研磨面に作用する剛性を高めるために前記スライドガイド上に前記ワーク保持装置を装着したL型スライド板をロック装置を用いて前記角度調節装置に堅持され、前記スライダーテーブル上に前記角度調節装置を装着した前記往復運動駆動装置が前記ブリッジ上に堅持されてなることを特徴とする磁気ヘッド素子の研磨装置。
IPC (7件)：
B24B 37/04 ( 200 6.01)
, B24B 37/00 ( 200 6.01)
, B24B 41/06 ( 200 6.01)
, G11B 5/187 ( 200 6.01)
, G11B 5/31 ( 200 6.01)
, G11B 5/39 ( 200 6.01)
, B24B 19/26 ( 200 6.01)
B24B 37/04 E
, B24B 37/04 G
, B24B 37/00 A
, B24B 41/06 L
, G11B 5/187 Q
, G11B 5/187 W
, G11B 5/31 M
, G11B 5/39
, B24B 19/26 A
