特許
J-GLOBAL ID：201103011221375314
クリーニング装置、成膜装置、成膜方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
石島 茂男
, 阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-078923
公開番号（公開出願番号）：特開2011-208255
出願日： 2010年03月30日
公開日（公表日）： 2011年10月20日
要約：
【課題】成膜マスクから付着物を高効率で除去するクリーニング装置と、成膜作業を中断させずに成膜マスクのクリーニングを行う成膜装置及び成膜方法を提供する。【解決手段】 クリーニング装置10は、シャワーノズル21と離間して対面する位置に処理対象物50を配置したときに、処理対象物50と接触部材23とが接触し、処理対象物50とシャワーノズル21との間の放電空間が、洗浄容器20の筒状の側壁22で取り囲まれると共に、処理対象物50と洗浄容器20との間に隙間29が形成されるように構成されている。真空排気装置12によって真空槽11内を真空排気しながら、シャワーノズル21内に反応ガスを供給し、放電空間にプラズマを発生させ、処理対象物50表面の付着物と反応ガスとの反応生成物ガスを、真空排気装置12によって、隙間29から真空排気する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空槽と、
前記真空槽内に配置され、底面にシャワーノズルが設けられた洗浄容器と、
前記洗浄容器に設けられた接触部材とを有し、
前記シャワーノズルの前記洗浄容器の開口に向けられた面には複数の放出孔が設けられ、
前記シャワーノズルと離間して対面する位置に処理対象物を配置したときに、前記接触部材の先端が前記処理対象物の内側に位置し、前記処理対象物と前記接触部材とが接触し、前記処理対象物と前記シャワーノズルとの間の放電空間が、前記洗浄容器の筒状の側壁で取り囲まれると共に、前記処理対象物と前記洗浄容器との間に隙間が形成されるように構成され、
前記真空槽の壁面に設けられた排気口に真空排気装置を接続し、前記シャワーノズルに設けられた導入口にガス供給装置を接続し、
前記真空排気装置によって前記真空槽内を真空排気しながら、前記ガス供給装置によって前記シャワーノズル内に反応ガスを供給し、前記シャワーノズルと前記処理対象物と前記側壁のうちの少なくとも一つと他の一つの間に電圧を印加し、前記放電空間にプラズマを発生させ、前記処理対象物表面の付着物と前記反応ガスとの反応生成物ガスを、前記真空排気装置によって、前記隙間から真空排気するように構成されたクリーニング装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA00
, 4K029HA01
, 4K029KA01
