マイクロジャイロスコープ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好秀和 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-375215
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346649
特許番号：特許第3307906号
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】外部フレーム(120)の内側に加振可能に設けらた内部フレーム(110)と;前記内部フレームの両側に横方向かつ感知方向に多数個設けられたコーム(150)と;前記コームの間に所定間隔で隔離された状態で配置されており、上側及び下側の電極支持部(140、160)により支持されている感知方向感知電極(170)と;前記内部フレームと前記外部フレームとの間において感知方向に加振可能に設けられたビーム弾性体(130)と;前記外部フレームの両側に、非対称に、水平方向に向けて設けられたコームの間に生じる静電容量の差異から加振状態を検出しうるように設けられたコームセンサ(270、270’)と;前記外部フレームの角部に加振可能に設けられた加振弾性体 (230)と;前記外部フレームの上下に設けられ、電圧の印加により前記外部フレームと前記コームを加振する加振用コームドライバ(250、250’)と;を含むことを特徴とするマイクロジャイロスコープ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

出願人引用 (7件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-163851 出願人：アイシン精機株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-091305 出願人：松下電器産業株式会社
容量式力学量センサの容量値計測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-133162 出願人：株式会社デンソー

全件表示

前のページに戻る