カーボン薄膜製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：石島茂男 , 阿部英樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-273790
公開番号（公開出願番号）：特開2001-098358
特許番号：特許第4510186号
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】水素原子数よりも炭素原子数の方が多い有機化合物をカーボン薄膜の原料とし、該カーボン薄膜の原料を溶媒に溶解させて液体原料とし、該液体原料の蒸気を生成し、該蒸気を電離した後、成膜対象物が配置された真空槽内に放出し、前記カーボン薄膜の原料を前記成膜対処物の表面に付着させ、カーボン薄膜を形成し、前記溶媒に揮発性のアルコールを用い、前記有機化合物として下記化学式(1)に示す構造のC24H12を用いることを特徴とするカーボン薄膜製造方法。

IPC (2件)：