ポジ型感熱性樹脂組成物及びそれを用いたレジストパターン形成方法

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-190436
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022057
特許番号：特許第4364969号
出願日： 1999年07月05日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 p-ヒドロキシ-α-メチルスチレン化合物及び必要に応じて該化合物と共重合可能なその他の不飽和モノマーとの(共)重合体、カルボキシル基含有樹脂、エーテル結合含有オレフィン性不飽和化合物及び熱酸発生剤を含有してなるポジ型感熱性樹脂組成物。

IPC (2件)：