特許
J-GLOBAL ID：201103026700901109
試料保持具
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-012259
公開番号（公開出願番号）：特開2011-082579
出願日： 2011年01月24日
公開日（公表日）： 2011年04月21日
要約：
【課題】拭き取り作業における試料へのパーティクルの再付着などが発生しない試料保持具を提供する。【解決手段】セラミック基体の一主面上に備えられ、試料を保持するための複数のピン1と、セラミック基体上方側の主面の外縁部に、保持される試料との間を密閉する空間を形成するためのシール部と、を備えており、ピン1は、先端に向かって先細り状であり、且つ外周面が複数の傾斜面6からなり、該複数の傾斜面6の接続部が曲面状である。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
セラミック基体の一主面上に、試料を保持するための複数のピンと、該複数のピンの周囲に配置され、保持される試料との間を閉鎖するためのシール部と、を備えた試料保持具であって、前記ピンは、先端に向かって先細り状であり、且つ外周面が複数の傾斜面からなり、該複数の傾斜面の接続部が曲面状であることを特徴とする試料保持具。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA02
, 5F031HA08
, 5F031HA14
, 5F031HA16
, 5F031HA48
, 5F031KA03
, 5F031MA22
, 5F031MA27
, 5F031PA20
, 5F031PA26
