特許
J-GLOBAL ID：201103037599477173

超純水製造方法及び装置

発明者：
新井 伸説

新井 伸説 について

, 
育野 望

育野 望 について


出願人/特許権者：
栗田工業株式会社

栗田工業株式会社 について


代理人 (2件)： 重野 剛 ,  有永 俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-047956
公開番号（公開出願番号）：特開2011-183245
出願日： 2010年03月04日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：
【課題】原水の尿素分解除去効率を向上させ、TOC濃度の低い超純水を安定して製造することができる超純水製造方法及び装置を提供する。【解決手段】有機物特に尿素を含有する原水を前処理システム10で前処理した後、反応槽11に導入し、水溶性臭化物塩と次亜塩素酸塩を添加して尿素を酸化分解処理する。この酸化分解処理水を活性炭塔12に通水して残留する次亜塩素酸塩を除去し、次いで脱炭酸塔13に通水し、脱炭酸と共にトリハロメタン除去を行う。この脱炭酸塔13の流出水を一次純水システム20及びサブシステム30で処理することにより超純水を製造する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理水を一次純水システムで処理した後、サブシステムで処理する超純水製造方法において、被処理水に水溶性臭化物塩及び次亜塩素酸塩を添加して尿素を酸化分解した後、脱気処理し、この脱気処理水を該一次純水システムに供給することを特徴とする超純水製造方法。
IPC (3件)：
C02F 1/76 ,  B01D 19/00 ,  C02F 1/20
FI (5件)：
C02F1/76 Z ,  B01D19/00 101 ,  B01D19/00 H ,  B01D19/00 F ,  C02F1/20 A
Fターム (33件)：
4D011AA15 ,  4D011AA16 ,  4D011AA17 ,  4D011AD01 ,  4D011AD03 ,  4D037AA03 ,  4D037AB11 ,  4D037BA23 ,  4D037BB05 ,  4D037BB07 ,  4D037CA01 ,  4D037CA02 ,  4D037CA03 ,  4D037CA06 ,  4D037CA08 ,  4D037CA11 ,  4D037CA15 ,  4D050AA05 ,  4D050AB07 ,  4D050AB13 ,  4D050AB17 ,  4D050BB06 ,  4D050BC10 ,  4D050BD02 ,  4D050BD06 ,  4D050CA03 ,  4D050CA04 ,  4D050CA06 ,  4D050CA07 ,  4D050CA08 ,  4D050CA09 ,  4D050CA15 ,  4D050CA16
引用特許：
審査官引用 (10件)
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