特許
J-GLOBAL ID：201103040416646703
端面反射型表面波装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮▲崎▼ 主税
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-325610
公開番号（公開出願番号）：特開2001-144565
特許番号：特許第4461529号
出願日： 1999年11月16日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 対向2端面が反射面とされており、該端面間で表面波が反射される端面反射型表面波装置の製造方法であって、
複数本の電極指を有するインターデジタル電極が上面に形成された圧電基板を用意する工程と、
切除部材を用いて前記圧電基板の上面に、前記電極指の延びる方向と平行な方向に溝を形成し、該溝の一方側面により前記表面波を反射させる端面を形成する工程と、
前記溝の底部で前記圧電基板を分割する工程とを備え、
前記溝の形成にあたり、前記切除部材の側面の位置をレーザー測光装置を用いて検出すると共に、前記圧電基板に形成されるべき溝の位置を光学的検出装置を用いて検出し、該検出された切除部材の側面の位置及び形成すべき溝の位置に応じて前記切除部材による前記圧電基板の切除を行い、表面波の波長をλとしたときに、前記切除部材の側面の検出位置が、前記切除部材の外周位置から径方向内側に形成すべき溝の深さ±λ以内分だけ入った位置としたことを特徴とする、端面反射型表面波装置の製造方法。
IPC (2件)：
H03H 3/08 ( 200 6.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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