特許
J-GLOBAL ID：201103046907114744

紫外線照射装置及びその運用方法

発明者：
中野 浩二

中野 浩二 について


出願人/特許権者：
株式会社日本フォトサイエンス

株式会社日本フォトサイエンス について


代理人 (1件)： 飯塚 義仁
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-342132
公開番号（公開出願番号）：特開2003-144912
特許番号：特許第4516251号
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 四塩化ケイ素を出発原料として人工的に生成された合成石英ガラスで製造された発光管体を有し、185nmの波長の紫外線を放射する低圧水銀蒸気放電灯と、 前記放電灯から放射される185nmの波長の紫外線を、連続して流れる半導体製品洗浄用超純水としての被処理水に対して照射して、水分子を解離してOHラジカルを生成させ、該OHラジカルの酸化力をもって水中に含まれる有機物を酸化分解処理する装置と を具えた紫外線照射装置。
IPC (4件)：
B01J 19/12 ( 200 6.01) ,  C02F 1/32 ( 200 6.01) ,  H01J 61/72 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (4件)：
B01J 19/12 C ,  C02F 1/32 ,  H01J 61/72 ,  H01L 21/304 647 Z
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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