特許

J-GLOBAL ID：201103047364327960

慣性センサ及びその製造方法

発明者： 神田 健介 ,  伊賀 友樹 ,  前中 一介
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構 ,  兵庫県
代理人 (1件)： 奈良 泰宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-088643
公開番号（公開出願番号）：特開2011-220765
出願日： 2010年04月07日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：

【課題】従来よりも小型であっても、従来の性能を少なくとも維持したまま電極を設けることが可能な慣性センサを得る。【解決手段】本発明の慣性センサは、基板10上面部の所定位置に配設された電極21〜29(Z軸方向慣性検出用)、電極31〜39(X軸方向慣性検出用)と、該電極間の所定箇所に配設された圧電素子61〜68(Z軸方向慣性検出用)、圧電素子71〜78(X軸方向慣性検出用)とを備えている。圧電素子61〜68は、各圧電素子で出力された電圧が加算されるように設けられている。また、圧電素子71〜78も、各圧電素子で出力された電圧が加算されるように設けられている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

可撓性を有した基板と、 前記基板中央部の一方の面側に設けられ、外部から作用する物理量に基づいて発生した力を前記基板に伝達する作用体と、 前記中央部から外側に向かって順に一列に設けられた板状の第1の圧電素子及び板状の第2の圧電素子と、 前記基板の他方の面側において、前記中央部を挟んで前記第1の圧電素子及び第2の圧電素子と対向配置されており、前記中央部から外側に向かって順に一列に設けられた板状の第3の圧電素子及び板状の第4の圧電素子と、 前記第2の圧電素子の下部と前記基板との間に設けられた第1の電極と、 前記第2の圧電素子の上部に設けられた一端部と、前記第1の圧電素子の上部に設けられた他端部と、該一端部と該他端部とを接続する接続部とを有している第2の電極と、 前記第1の圧電素子の下部と前記基板との間に設けられた一端部と、前記第3の圧電素子の上部に設けられた他端部と、該一端部と該他端部とを接続する接続部とを有している第3の電極と、 前記第3の圧電素子の下部と前記基板との間に設けられた一端部と、前記第4の圧電素子の下部と前記基板との間に設けられた他端部と、該一端部と該他端部とを接続する接続部とを有している第4の電極と、 前記第4の圧電素子の上部と接続されている第5の電極と、を備えていることを特徴とする慣性センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/09 ,  G01P 15/18

FI (2件)：

G01P15/09 B ,  G01P15/00 K

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 圧電型振動センサとその製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-177329   出願人：株式会社フジクラ
• 加速度と角速度との双方を検出するセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-023959   出願人：株式会社ワコー
• 特開平3-020635
  
• センサユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-086357   出願人：日本碍子株式会社
• 薄膜圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-070558   出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
• 三軸圧電加速度センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-344261   出願人：マイクロジェニックス株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• 「圧電薄膜要素の多段直列接続によるセンサ出力電圧の増倍」