特許
J-GLOBAL ID：201103053034964661
プラズマ処理装置および光学素子成形型の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 鈴木 三義
, 高柴 忠夫
, 増井 裕士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-175235
公開番号（公開出願番号）：特開2011-026676
出願日： 2009年07月28日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：
【課題】プラズマ処理装置および光学素子成形型の製造方法において、プラズマ放出方向を均等化しつつ、ドロップレットや飛散粒子を容易に除去することができ、表面処理の品質を向上することができるようにする。【解決手段】ターゲット6とアノード電極とを有し、アーク放電によるプラズマ8を放出するプラズマ放出部10と、プラズマ8を偏向させて光学素子成形用型母材11の表面に輸送する偏向部13と、ターゲット6の表面から光学素子成形用型母材11に向けて直進する経路を遮蔽する遮蔽板20とを備え、アノード電極は、複数の円弧状導電体が、ターゲット6の軸方向回りに周回するように配置され、ターゲット6を挟んで光学素子成形用型母材11と反対側に円弧状導電体の各開口が配置された周回電極部と、周回電極部に電流を供給する配線部と、を備えるプラズマ処理装置1を用いる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
軸状のターゲットとの間にトリガー放電を生じさせるトリガー電極と、前記ターゲットとの間にアーク放電を誘起するアノード電極とを有し、前記アーク放電によって生じる前記ターゲットのイオンを含むプラズマを前記ターゲットの先端方向に放出するプラズマ放出部と、
該プラズマ放出部から放出される前記プラズマを前記ターゲットの軸方向と交差する方向に偏向させることにより前記プラズマを被処理体の表面に輸送する偏向部と、
前記被処理体と前記アノード電極との間に設けられ、前記ターゲットの表面から前記被処理体に向けて直進する経路を遮蔽する遮蔽部とを備えるプラズマ処理装置であって、
前記プラズマ放出部の前記アノード電極は、
一方に開口を有する略アーチ状とされた複数の導電体が、前記ターゲットの軸方向回りに周回するように配置されるとともに、前記ターゲットを挟んで前記被処理体と反対側に前記複数の導電体の各開口が配置された周回電極部と、
該周回電極部に電流を供給する配線部と、を備えることを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/24 F
, C03B11/00 M
4K029BD05
, 4K029CA03
, 4K029CA10
, 4K029CA13
, 4K029DA12
, 4K029DB08
, 4K029DB17
, 4K029DD06
, 4K029DE05
