特許
J-GLOBAL ID：201103063293739035
レーザ照射装置およびレーザ照射方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-359395
公開番号（公開出願番号）：特開2003-158088
特許番号：特許第3973882号
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザと、
凹面を有する複数のミラーと、
前記複数のミラーで反射されたレーザ光の照射面を有する物が支持されるステージと、を有するレーザ照射装置であって、
前記複数のミラーは、
集光位置が前記照射面と前記複数のミラーとの間にある、単数または複数のミラーで構成された第1のミラー部と、
集光位置が、前記照射面を基準とし、前記複数のミラーの反対側にある、単数または複数のミラーで構成された第2のミラー部と、を有し、
前記第1及び第2のミラー部によって反射されたレーザ光は、前記照射面において重畳され、
前記照射面において重畳されたレーザ光のエネルギー密度の分布は均一であることを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (5件)：
H01L 21/268 ( 200 6.01)
, B23K 26/067 ( 200 6.01)
, H01L 21/20 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
, H01L 21/336 ( 200 6.01)
H01L 21/268 J
, B23K 26/067
, H01L 21/20
, H01L 29/78 627 G
