電気光学プローブ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-280568
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171489
特許番号：特許第3420978号
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】プローブ本体の内部における該プローブ本体の基端部側と先端部側との間に光路が形成され、該光路の前記プローブ本体の基端部側の一端には、レーザーダイオードが配置され、前記光路の前記プローブ本体の先端部側の他端には、電気光学素子が配置され、該電気光学素子の前記プローブ本体の先端部側の端面には反射膜が形成され、前記レーザダイオードから発せられるレーザ光を、前記光路を通じて前記電気光学素子に入射し、この入射光を前記反射膜によって反射し、さらに、この反射光を分離してフォトダイオードにより電気信号に変換する構成となっており、前記電気光学素子は、前記プローブ本体の先端部をなすプローブヘッド部材によって、少なくとも前記プローブ本体の先端部側から保持され、該プローブヘッド部材には、外部から前記反射膜に至る挿入孔が形成され、該挿入孔には金属ピンが、その一端が前記反射膜に接し、他端が前記プローブヘッドから突出する状態で挿入され、前記挿入孔は、前記外部側の径寸法が、前記反射膜側の径寸法に比較して大となるように形成されていることを特徴とする電気光学プローブ。

IPC (4件)：

G01R 13/40 , G01R 1/06 , G01R 15/24 , G01R 31/302

FI (4件)：

G01R 13/40 , G01R 1/06 F , G01R 15/07 C , G01R 31/28 L

引用特許：

出願人引用 (7件)

電気信号測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-198360 出願人：日本電信電話株式会社
電界検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-249419 出願人：横河電機株式会社
電圧測定装置のE-Oプローブ位置決め方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-054225 出願人：浜松ホトニクス株式会社, 財団法人光産業技術振興協会

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