特許
J-GLOBAL ID：201103072546867565
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池田 憲保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-341779
公開番号（公開出願番号）：特開2001-160368
特許番号：特許第4667553号
出願日： 1999年12月01日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 内壁面と外壁面とを有すると共にマイクロ波導入用のRF窓を持つ円筒体からなるプラズマチャンバと、該プラズマチャンバの円筒体の両端部の外壁に配設されたコイルまたは永久磁石による一対のミラー磁石と、該一対のミラー磁石の間に設けられて前記プラズマチャンバ内に前記マイクロ波を導入するための導波管とを備えたイオン源において、
前記プラズマチャンバは前記導波管の開口部分から上流側にも下流側にも長く構成するとともに、前記導波管の開口部分の長軸方向の内幅と同じ長さの空間である前記RF窓を、前記プラズママチャンバ内の前記導波管と当該プラズマチャンバとが接続される部分にはさみ込んで形成して、前記プラズマチャンバ内における前記導波管の開口部分の長軸方向の内幅と同じ長さの空間にプラズマを生成して、イオンビームを前記プラズマチャンバの一端側に設けた引き出し電極により引き出すようにし、
前記一対のミラー磁石はそれぞれ、前記コイルまたは永久磁石がヨークに収容されて成り、前記引き出し電極側のミラー磁石におけるヨーク端面には前記イオンビームを通すための開口が設けられ、該開口の形状を、鉛直方向の開口内径が水平方向の開口内径より大きな縦長の長円形、楕円形のような回転非対称形状とし、前記導波管の開口部分の長軸方向の内幅の幅長さを、前記イオンビームを通すための開口の前記鉛直方向の開口内径よりも大きくし、
前記プラズマチャンバの内壁側には更に、前記導波管の短軸側の2つの内壁に対応する位置からそれぞれ前記プラズマチャンバの端部側に延びる円筒体を形成するか、又は、前記導波管の短軸側の2つの内壁に対応する2つの位置の少なくとも一方に、周方向に沿うように仕切り体を設けたことを特徴とするイオン源。
IPC (2件)：
H01J 37/08 ( 200 6.01)
, H01J 27/08 ( 200 6.01)
