特許
J-GLOBAL ID：201103074562875872

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者：
中嶋 昌也

中嶋 昌也 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-207670
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025898
特許番号：特許第4640688号
出願日： 2000年07月10日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被照射面を照明する照明光学装置において、 光束を供給するための光源と、 光軸に関して回転対称な反射面と該反射面の中央に形成された中心開口部とを有し前記光源からの光束を集光するための反射鏡と、 前記反射鏡によって集光された前記光源からの光束をほぼ平行光束に変換するためのコリメート光学系と、 前記コリメート光学系を介したほぼ平行光束に基づいて多数の光源からなる実質的な面光源を形成するための多光源形成手段と、 前記面光源からの光束を集光して前記被照射面へ導くためのコンデンサー光学系とを備え、 前記コリメート光学系は、前記多光源形成手段に対して実質的に輪帯状の光束を入射させるために、前記反射鏡の中心開口部と前記多光源形成手段の入射面とを光学的にほぼ共役な関係に設定するように構成され、 前記コリメート光学系と前記多光源形成手段との間の光路中には、入射光束を実質的に輪帯状の光束または光軸に対して偏心した複数の光束に変換するための光束変換部材が設けられ、 前記光束変換部材は、前記コリメート光学系を介したほぼ平行光束の光軸上における光強度がほぼ零になる位置よりも被照射面側に配置されていることを特徴とする照明光学装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G02B 19/00 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01)
FI (4件)：
H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 A ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521
引用特許：
審査官引用 (12件)
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