走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松下義治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211590
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041875
特許番号：特許第3939050号
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】先端に探針を有するカンチレバーと、カンチレバーのレーザ反射面にレーザを照射するレーザ発生器と、レーザの反射光の位置を検出する光位置検出器と、試料を探針に対して相対的に移動させる試料移動手段とを備え、探針の試料に対する位置変位を、光位置検出器が検出した前記位置に基づき特定する走査型プローブ顕微鏡において、レーザ照射位置での前記レーザ反射面のたわみ角変化を抑えるためにレーザをカンチレバーのレーザ反射面の根元寄り(レバー長手方向において先端、中間、根元としたとき中間と根元の間)にのみ照射し、当該根元寄りの位置で反射された反射光を用いて探針の試料に対する位置変位を特定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：