特許
J-GLOBAL ID：201103084870950783
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高松 猛
, 矢澤 清純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-289854
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109156
特許番号：特許第4253409号
出願日： 1999年10月12日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物と、
(B)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂と、
(C)アルカリの作用により分解しアルカリ現像液中での溶解度が増大する分子量3000以下の化合物、あるいはアルカリの作用により分解しアルカリ現像液への親和性が増大する分子量3000以下の化合物と、を含有し、
該樹脂(B)が単環または多環の脂環炭化水素構造を有する樹脂であり、
該化合物(C)が下式(I)の構造が飽和脂環炭化水素構造原子団又は脂肪族鎖状構造原子団と結合した化合物であることを特徴とするポジ型感光性組成物。
R1〜R5は、同一でも異なっていてもよく、水素原子、直鎖、分岐、環状アルキル基、ハロゲン原子、水酸基、直鎖、分岐、環状アルコキシ基を表す。m+n≧1である。
IPC (10件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, C08K 5/1535 ( 200 6.01)
, C08K 5/16 ( 200 6.01)
, C08K 5/3492 ( 200 6.01)
, C08K 5/353 ( 200 6.01)
, C08K 5/36 ( 200 6.01)
, C08L 33/04 ( 200 6.01)
, C08L 35/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 504
, C08K 5/153
, C08K 5/16
, C08K 5/349
, C08K 5/353
, C08K 5/36
, C08L 33/04
, C08L 35/02
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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