特許
J-GLOBAL ID：201103086312208046
レジスト用樹脂、レジスト組成物およびそれを用いたパターン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
吉武 賢次
, 中村 行孝
, 紺野 昭男
, 横田 修孝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224538
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330287
特許番号：特許第3810957号
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 主鎖または側鎖に有橋脂環を含むポジ型レジスト用樹脂であって、かつ前記脂環が2個以上の含酸素極性基が3級炭素位に結合した脂環構造を有するものであり、かつラクトン骨格をアクリル側鎖に有するアクリル系化合物をモノマーとしてさらに含む重合体であることを特徴とするポジ型レジスト用樹脂。
IPC (4件)：
G03F 7/039 ( 200 6.01)
, C08G 63/00 ( 200 6.01)
, C08L 67/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G03F 7/039 601
, C08G 63/00
, C08L 67/00
, H01L 21/30 502 R
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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