文献

J-GLOBAL ID：201202257850165155   整理番号：12A0960642

スライディング駆動電極の斜め形状を用いたLameモード八角マイクロ電気機械システム共振器

Lame-Mode Octagonal Microelectromechanical System Resonator Utilizing Slanting Shape of Sliding Driving Electrodes

著者 (3件)： OKAMOTO Tadashi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TANIGAWA Hiroshi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Kenichiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 6,Issue 2  ページ： 06FL06.1-06FL06.7  発行年： 2012年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高共振周波数のマイクロ電気機械システム(MEMS)共振器のためには,出力信号の減少を補うための電気機械結合係数が大きく増加するので,駆動電極(DE)と共振板の間のギャップを減少させることが非常に重要になる。この論文でわれわれは斜め形状でDEをスライドさせてギャップをサブミクロンまで狭く形成するための新しい手法について説明する。各ギャップ長が同じなので,傾斜ギャップは製造におけるパターンサイズ依存性を回避するのに役立つ。 スライディングDEを改良して,Lameモード八角MEMS共振器を検討した。作製した共振器は12.48MHzのLameモード共鳴を持つ。ギャップを狭くした後,機械的な変位振幅は,直接レーザドップラー振動計を用いて測定した。その結果,振幅において狭められたギャップは狭める前に比べて大きな改善(92倍)を得た。絶対インピーダンスの大きな減少と共振周波数の周りの大きな位相転移も観測されている。実験で得られたギャップ長の非対称性の共振器劣化への影響についても議論している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *共振器 ,  *電極 ,  板 ,  振動モード ,  *滑り ,  間隙 ,  振動計 ,  インピーダンス
準シソーラス用語： *MEMS共振器 ,  駆動電極 ,  共振板 ,  Lameモード ,  レーザDoppler振動計 ,  絶対インピーダンス

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

引用文献 (30件)：

• 1) M. Hikita, N. Matsuura, K. Yokoyama, N. Shibagaki, and K. Sakiyama: IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 50 (2002) 2629.
• 2) J. Wang, Z. Ren, and C. T. -C. Nguyen: IEEE Trans. Ultrason. 51 (2004) 1607.
• 3) F. Nabki, K. Allidina, F. Ahmad, P. -V. Cicek, and M. N. El-Gamal: IEEE J. Solid-State Circuits 44 (2009) 2154.
• 4) H. Tanigawa, S. Makita, and K. Suzuki: IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng. 5 (2010) 164.
• 5) S. Makita, H. Tanigawa, and K. Suzuki: Dig. Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. , 2007, p. 500.

タイトルに関連する用語 (3件)： 駆動電極 ,  電気機械 ,  共振器