特許
J-GLOBAL ID:201203003909247500 イオンセンサおよびイオン濃度測定方法
発明者:
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出願人/特許権者: 公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-031102
公開番号(公開出願番号):特開2012-168120
出願日: 2011年02月16日
公開日(公表日): 2012年09月06日
要約:
【課題】参照極の不具合を解消するとともに、厳しい環境下でも使用可能なイオンセンサ等を提供する。【解決手段】第2のpチャネル電界効果トランジスタのゲート部分の半導体表面の終端の測定対象イオンに対する感度が、第1のpチャネル電界効果トランジスタのゲートの部分の半導体表面の終端の前記測定対象イオンに対する感度よりも高くされる。前記第1のpチャネル電界効果トランジスタにおける前記半導体表面がダイヤモンドを有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
参照極と、作用極とを備え、前記参照極および前記作用極の出力に基づいて被測定液のイオン濃度を測定するイオンセンサにおいて、
前記参照極は第1のpチャネル電界効果トランジスタにより構成され、
前記作用極は第2のpチャネル電界効果トランジスタにより構成され、
前記第2のpチャネル電界効果トランジスタのゲート部分の半導体表面の終端と前記第1のpチャネル電界効果トランジスタのゲートの部分の半導体表面の終端とが異なり、
前記第1のpチャネル電界効果トランジスタにおける前記半導体表面がダイヤモンドを有する
ことを特徴とするイオンセンサ。
IPC (2件):
G01N 27/414
, G01N 27/416
FI (5件):
G01N27/30 301R
, G01N27/30 301A
, G01N27/30 301U
, G01N27/30 301V
, G01N27/46 353Z
引用特許: 引用文献: 前のページに戻る