特許
J-GLOBAL ID：201203013253939619

2光束アッセンブリ及びクロマティックポイントセンサ装置の動作方法

発明者：
ケイシー エドワード エムトマン

ケイシー エドワード エムトマン について

, 
ヤン ジー

ヤン ジー について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-184050
公開番号（公開出願番号）：特開2012-047743
出願日： 2011年08月25日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：
【課題】2つの表面領域を同期測定できるクロマティックポイントセンサ装置(CPS装置)の動作方法を提供すること。【解決手段】2光束アッセンブリが取り付けられた1光束CPS光学ペンを用いたセンサ装置の第1測定光束および第2測定光束を、それぞれ第1表面領域および第2表面領域に位置合わせする。2つの反射光が2光束CPSの共焦点開口部を通過する。第1測定光束および第2測定光束にそれぞれ起因する第1測定および第2測定を含んだ少なくとも1の測定セットを実行する。様々な位置での測定セットの実行のため、少なくとも第1表面領域を移動させる。各測定結果は、極めて良好な分解能(例えば、少なくとも10nmの分解能)で決定される。本センサ装置と動作方法は、干渉計または他の高額で複雑な構成要素を使わないで、高い分解能と精度を必要とする測定に適用できる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
測定範囲Rを有する1の光源光束を供給するクロマティック共焦点ポイントセンサペン(光学ペン)に取り付け可能で、前記光源光束に基づく2つの測定光束を生成するための2光束アッセンブリであって、 前記2光束アッセンブリは、 前記クロマティック共焦点ポイントセンサペンに取り付けられる取付要素と、 第1反射要素と、を備え、 前記2光束アッセンブリは、前記クロマティック共焦点ポイントセンサペンに前記取付要素を操作可能に取り付ける際に、前記第1反射要素が、前記光源光束の光軸上に配置されて、前記光源光束を第1測定光束および第2測定光束に分割するように、構成され、 また、前記2光束アッセンブリは、前記第1測定光束を第1測定軸に沿って、および、前記第2測定光束を第2測定軸に沿って、それぞれワークピースの異なる部分に向けて出射すると共に、前記第1測定光束および前記第2測定光束に起因するワークピース測定光を前記クロマティック共焦点ポイントセンサペンに戻すことを特徴とする2光束アッセンブリ。
IPC (5件)：
G01C 3/06 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/14 ,  G01B 11/02
FI (6件)：
G01C3/06 120P ,  G01C3/06 140 ,  G01B11/00 B ,  G01B11/24 R ,  G01B11/14 Z ,  G01B11/02 Z
Fターム (43件)：
2F065AA06 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA25 ,  2F065AA33 ,  2F065AA48 ,  2F065AA50 ,  2F065AA51 ,  2F065EE00 ,  2F065FF10 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL46 ,  2F065LL67 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP02 ,  2F065PP05 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ29 ,  2F065TT02 ,  2F112AB07 ,  2F112CA01 ,  2F112CA12 ,  2F112DA05 ,  2F112DA09 ,  2F112DA10 ,  2F112DA21 ,  2F112DA28 ,  2F112DA30 ,  2F112DA32 ,  2F112DA40 ,  2F112FA45 ,  2F112GA01
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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