特許
J-GLOBAL ID：201203018571623363
パターンデータ生成装置、パターンデータ生成方法、及びパターン形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
勝沼 宏仁
, 佐藤 泰和
, 川崎 康
, 関根 毅
, 赤岡 明
, 重野 隆之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-040090
公開番号（公開出願番号）：特開2012-178428
出願日： 2011年02月25日
公開日（公表日）： 2012年09月13日
要約：
【課題】自己組織化材料を用いて様々な微細パターンを低コストに形成する。【解決手段】本実施形態によれば、パターンデータ生成装置は、パターン寸法毎に、自己組織化材料、前記自己組織化材料の膜厚、及び前記自己組織化材料に対するプロセス条件を組み合わせた自己組織化情報が規定されたテーブルを記憶する記憶部を備える。パターンデータ生成装置は、さらに、デバイスのレイアウトデータをパターン寸法に基づいて分割し、分割レイアウトを作成する分割部と、前記分割レイアウトのパターン寸法に対応する前記自己組織化情報を前記テーブルから抽出する抽出部と、前記分割レイアウトに、前記抽出部により抽出された前記自己組織化情報を割り当ててパターンデータを生成する生成部と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
パターン寸法毎に、自己組織化材料、前記自己組織化材料の膜厚、及び前記自己組織化材料に対するプロセス条件を組み合わせた自己組織化情報が規定されたテーブルを記憶する記憶部と、
デバイスのレイアウトデータをパターン寸法に基づいて分割し、分割レイアウトを作成する分割部と、
前記分割レイアウトのパターン寸法に対応する前記自己組織化情報を前記テーブルから抽出する抽出部と、
前記分割レイアウトに、前記抽出部により抽出された前記自己組織化情報を割り当ててパターンデータを生成する生成部と、
を備えるパターンデータ生成装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (2件)：
引用特許：
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