特許
J-GLOBAL ID：201203027463476035

エッチングレジスト用感光性樹脂組成物、パターン作製方法、MEMS構造体及びその作製方法、ドライエッチング方法、ウェットエッチング方法、MEMSシャッターデバイス、並びに、画像表示装置

発明者：
米澤 裕之

米澤 裕之 について

, 
下野 勝弘

下野 勝弘 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 野口 恭弘 ,  深海 明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-054361
公開番号（公開出願番号）：特開2012-181488
出願日： 2011年03月11日
公開日（公表日）： 2012年09月20日
要約：
【課題】形成したパターンをベークした後であっても矩形又は矩形に近いプロファイルが形成可能なエッチングレジスト用感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(成分A)カルボキシ基又はフェノール性水酸基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位(a1)と、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有するモノマー単位(a2)とを有する重合体、(成分B)光酸発生剤、並びに、(成分C)溶剤、を含むことを特徴とするエッチングレジスト用感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(成分A)カルボキシ基又はフェノール性水酸基が酸分解性基で保護された残基を有するモノマー単位(a1)と、エポキシ基及び/又はオキセタニル基を有するモノマー単位(a2)とを有する重合体、 (成分B)光酸発生剤、並びに、 (成分C)溶剤、を含むことを特徴とする エッチングレジスト用感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/28
FI (6件)：
G03F7/039 601 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/40 521 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/28
Fターム (69件)：
2H096AA25 ,  2H096AA30 ,  2H096BA11 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  2H096HA17 ,  2H096HA23 ,  2H125AE03P ,  2H125AE04P ,  2H125AE08P ,  2H125AE12P ,  2H125AE13P ,  2H125AE18P ,  2H125AF52P ,  2H125AH05 ,  2H125AH06 ,  2H125AJ12X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ63X ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ66Y ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM24P ,  2H125AM26P ,  2H125AM27P ,  2H125AN39P ,  2H125AN82P ,  2H125AN86P ,  2H125AN88P ,  2H125BA05P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA12 ,  2H125CA30 ,  2H125CB06 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125CD01P ,  2H125CD08P ,  2H125CD20P ,  2H125CD31 ,  2H125CD36 ,  2H125CD37 ,  4J100AB02R ,  4J100AJ02S ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL09S ,  4J100AL10Q ,  4J100BA02P ,  4J100BA06P ,  4J100BC04P ,  4J100BC37R ,  4J100BC53P ,  4J100BC54Q ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA39 ,  4J100JA37
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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