基板収容器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：杉谷勉 , 戸高弘幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-061155
公開番号（公開出願番号）：特開2012-199302
出願日： 2011年03月18日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：

【課題】内部空間の雰囲気を仕切ることによって、相互汚染が生じるのを抑制することができる基板収容器を提供する。【解決手段】FOUP1に仕切り板DP1を装着すると、収容器本体3の内部空間5を複数の雰囲気(第1の空間SP1,第2の空間SP2)に仕切ることができる。したがって、内部空間5の仕切られた各雰囲気を使い分けることにより、基板の相互汚染を抑制することができる。また、特殊なFOUP1ではなく、規格化された標準的なFOUP1を用いることができるので、コストの上昇を仕切り板DP1に相当する分だけですませることができる。したがって、FOUP1内における内部空間5の雰囲気を容易に低コストで分離することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数枚の基板を収容する基板収容器において、内部空間を有する収容器本体と、前記収容器本体に形成され、前記内部空間に連通した開口部と、前記収容器本体の内壁に設けられ、基板の端縁下面を当接支持する複数の支持溝と、前記開口部に着脱自在の蓋と、前記複数の支持溝に着脱自在に装着されて、前記内部空間を複数の雰囲気に仕切る仕切り板と、を備えていることを特徴とする基板収容器。

IPC (2件)：

H01L 21/673 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L21/68 V , B65D85/38 R

Fターム (21件)：

3E096AA06 , 3E096BA15 , 3E096BB05 , 3E096CA06 , 3E096CA08 , 3E096CB03 , 3E096DA01 , 3E096DA26 , 3E096FA03 , 3E096FA22 , 3E096GA09 , 3E096GA13 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031CA11 , 5F031DA08 , 5F031EA14 , 5F031EA19 , 5F031NA16 , 5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭63-178541
基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-005441 出願人：株式会社日立国際電気
ウェーハ収納容器
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-301652 出願人：株式会社ルネサステクノロジ

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