特許
J-GLOBAL ID:201203032944927557
感放射線性樹脂組成物及びパターン形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (7件):
天野 一規
, 藤本 勝誠
, 奥谷 優
, 池田 義典
, 小川 博生
, 石田 耕治
, 森田 慶子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-073725
公開番号(公開出願番号):特開2012-093706
出願日: 2011年03月29日
公開日(公表日): 2012年05月17日
要約:
【課題】本発明の目的はラインアンドスペースパターンでのLWRに加え、パターン矩形性を改良し、またコンタクトホールパターンでの円形性や狭ピッチでの真円性保持能力が改良され、線幅45nm以下の液浸プロセスに適合した感放射線性樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法を提供することである。【解決手段】[A]下記式(1)で表される構造単位(I)を有する重合体、及び[B]下記式(2)で表される化合物を含む酸発生体を含有する感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
[A]下記式(1)で表される構造単位(I)を有する重合体、及び
[B]下記式(2)で表される化合物を含む酸発生体
を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/039
, G03F 7/004
, H01L 21/027
, C08F 20/26
FI (5件):
G03F7/039 601
, G03F7/004 503A
, G03F7/004 501
, H01L21/30 502R
, C08F20/26
Fターム (60件):
2H125AF17P
, 2H125AF18P
, 2H125AF38P
, 2H125AF70P
, 2H125AH15
, 2H125AH16
, 2H125AH17
, 2H125AH19
, 2H125AH22
, 2H125AH23
, 2H125AH24
, 2H125AH29
, 2H125AJ14X
, 2H125AJ64X
, 2H125AJ65X
, 2H125AJ68X
, 2H125AL03
, 2H125AL11
, 2H125AN39P
, 2H125AN42P
, 2H125AN54P
, 2H125BA02P
, 2H125BA26P
, 2H125CA12
, 2H125CB09
, 2H125CC03
, 2H125CC15
, 2H125FA03
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100AL08S
, 4J100BA03R
, 4J100BA11Q
, 4J100BA11R
, 4J100BA11S
, 4J100BA15Q
, 4J100BA15S
, 4J100BA40R
, 4J100BC03P
, 4J100BC04P
, 4J100BC07S
, 4J100BC09R
, 4J100BC09S
, 4J100BC53Q
, 4J100BC53R
, 4J100BC58R
, 4J100BC58S
, 4J100BC84Q
, 4J100CA03
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100CA06
, 4J100DA01
, 4J100DA04
, 4J100DA05
, 4J100FA03
, 4J100FA28
, 4J100FA30
, 4J100JA38
引用特許:
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (13件)
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引用文献:
出願人引用 (1件)
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岩波理化学辞典, 19920720, 第4版第7刷, 756
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