特許
J-GLOBAL ID：201203051005679278

高周波電源装置

発明者：
谷口 道夫

谷口 道夫 について

, 
鶴田 義範

鶴田 義範 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


代理人 (1件)： 松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-074121
公開番号（公開出願番号）：特開2012-210082
出願日： 2011年03月30日
公開日（公表日）： 2012年10月25日
要約：
【課題】直流電圧をインバータ回路により高周波交流電圧に変換して負荷に供給する高周波電源装置の構成の簡素化を図る。【解決手段】直流電源部20が発生する直流電力を交流電力に変換するインバータ回路3と、インバータ回路の出力が一次側に入力されたトランス4とを備えて、トランスの二次側から負荷7に高周波電力を供給する高周波電源装置において、インバータ回路3の出力電流と出力電圧の位相差を検出する位相差検出部11と、負荷に与える高周波電力を検出する電力検出部10とを設け、インバータ回路3に入力する直流電圧を一定として、インバータ回路の出力電流の出力電圧に対する位相を遅れ位相の状態に維持する制御を行いつつ、インバータ回路3の出力端から負荷側を見た回路のインピーダンスの抵抗分を増減させて負荷に与える高周波電力を設定値に近づけるか又は許容範囲に保つ制御を行わせる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
交流電圧を整流平滑して直流電圧を出力する直流電源部と、前記直流電源部から出力される直流電圧を交流電圧に変換するインバータ回路とを備えて前記インバータ回路から負荷に供給する高周波電力を発生する高周波電力発生部と、前記高周波電力発生部から負荷に供給される高周波電力の電力値を設定値に近づけるか又は設定された許容範囲に保つ制御を行なう電力制御部とを備えた高周波電源装置において、 前記インバータ回路の出力電流を検出する電流検出部と、 前記電流検出部により検出される電流と前記インバータ回路の出力電圧との位相差を検出する位相差検出部と、 前記負荷に供給される高周波電力を検出する電力検出部と、 前記位相差検出部により検出された位相差を入力として前記電流検出部により検出される電流の位相を前記インバータ回路の出力電圧の位相に対して設定された遅れ量だけ遅れた状態に保つように前記インバータ回路の出力周波数を予め定めた周波数可変範囲内で制御する周波数制御部と、 を具備し、 前記電力制御部は、少なくとも一つの可変リアクタンス素子を含む複数のリアクタンス素子からなっていて、前記可変リアクタンス素子のリアクタンス値を変化させることにより、前記高周波電力発生部の出力端から前記負荷側を見た回路のインピーダンスである負荷側インピーダンスを調整するインピーダンス調整器と、前記電力検出部により検出された電力値に応じて前記負荷側インピーダンスの抵抗分を変化させて前記高周波電力発生部から負荷に供給される高周波電力の電力値を前記設定値に近づけるか又は設定された許容範囲に保つ制御を行うべく、前記電力検出部により検出された電力値に応じて前記インピーダンス調整器の可変リアクタンス素子を制御するインピーダンス制御部とを備えていることを特徴とする高周波電源装置。
IPC (1件)：
H02M 7/48
FI (1件)：
H02M7/48 E
Fターム (10件)：
5H007AA07 ,  5H007CA01 ,  5H007CA02 ,  5H007CB02 ,  5H007CB05 ,  5H007DB02 ,  5H007DC02 ,  5H007DC03 ,  5H007DC05 ,  5H007EA00
引用特許：
審査官引用 (7件)
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