レジスト組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-271858
公開番号（公開出願番号）：特開2012-155314
出願日： 2011年12月13日
公開日（公表日）： 2012年08月16日
要約：

【課題】特定の構造単位を有する樹脂を含有する新規なポジ型レジスト組成物を提供することを目的とする。【解決手段】式(I)で表される構造単位を有する樹脂と、酸発生剤とを含有するポジ型レジスト組成物。[式中、R1及びR2は、それぞれ脂肪族炭化水素基を表すか、R1及びR2が互いに結合し、それらが結合している炭素原子とともに環を形成する;R3は、ハロゲン原子を有してもよいアルキル基、水素原子又はハロゲン原子;T1は、2価の脂肪族飽和炭化水素基等;mは0又は1の整数を表す。]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

式(I)で表される構造単位を有する樹脂と、酸発生剤とを含有するポジ型レジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 , H01L 21/027 , C08F 220/28

FI (4件)：

G03F7/039 601 , G03F7/004 501 , H01L21/30 502R , C08F220/28

Fターム (43件)：

2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF38P , 2H125AH05 , 2H125AH17 , 2H125AH19 , 2H125AJ12X , 2H125AJ14X , 2H125AJ65X , 2H125AJ69X , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN45P , 2H125AN54P , 2H125AN65P , 2H125BA02P , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA03 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AL08T , 4J100BA03R , 4J100BA11S , 4J100BA11T , 4J100BA15T , 4J100BC04Q , 4J100BC04T , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC53S , 4J100BC53T , 4J100BC59T , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100DA01 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (6件)

ポジ型レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-201285 出願人：富士フイルム株式会社
重合体および感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-300971 出願人：JSR株式会社
パターン形成方法、化学増幅型レジスト組成物及びレジスト膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-214564 出願人：富士フイルム株式会社

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引用文献：

審査官引用 (4件)

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