特許
J-GLOBAL ID：201203097761818303
静電吸着電極の補修方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-166489
公開番号（公開出願番号）：特開2012-004580
出願日： 2011年07月29日
公開日（公表日）： 2012年01月05日
要約：
【課題】 静電吸着電極の破損部位の補修を簡易かつ適切に行なうことができる補修方法を提供すること。【解決手段】 基材41の表面を覆う被膜が形成され、該被膜は、電極層43と、該電極層43より下層の第1の絶縁層42と、電極層43より上層の第2の絶縁層44と、を含むように構成されており、電極層43に電圧を印加することにより基板を吸着保持する静電吸着電極の補修方法であって、第2の絶縁層44の表面層を全体的に所定の厚さで除去する工程と、表面層が除去された部分に絶縁材料からなる補修被膜66を溶射により形成する被膜再生工程と、を含む。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
基材の表面を覆う被膜が形成され、該被膜は、電極層と、該電極層より下層の第1の絶縁層と、前記電極層より上層の第2の絶縁層と、を含むように構成されており、前記電極層に電圧を印加することにより基板を吸着保持する静電吸着電極の補修方法であって、
前記第2の絶縁層の表面層を全体的に所定の厚さで除去する工程と、
前記表面層が除去された部分に絶縁材料からなる補修被膜を溶射により形成する被膜再生工程と、
を含むことを特徴とする静電吸着電極の補修方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA18
, 5F031MA28
, 5F031MA29
, 5F031MA32
, 5F031PA06
