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J-GLOBAL ID：201302259822971790   整理番号：13A1165631

ステップアンドリピート紫外ナノインプリンティングの離型特性の研究

Study of Demolding Characteristics in Step-and-Repeat Ultraviolet Nanoimprinting

著者 (18件)： IYOSHI Shuso (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  IYOSHI Shuso (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  OKADA Makoto (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  OKADA Makoto (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  KATASE Tetsuya (Meisyo Kiko Co., Ltd., Hyogo, JPN) ,  TONE Katsuhiko (Meisyo Kiko Co., Ltd., Hyogo, JPN) ,  KOBAYASHI Kei (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KOBAYASHI Kei (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  KANEKO Shu (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KANEKO Shu (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  HARUYAMA Yuichi (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  HARUYAMA Yuichi (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  NAKAGAWA Masaru (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  NAKAGAWA Masaru (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  HIROSHIMA Hiroshi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  HIROSHIMA Hiroshi (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  MATSUI Shinji (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  MATSUI Shinji (JST-CREST, Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52  号： 6,Issue 2  ページ： 06GJ04.1-06GJ04.9  発行年： 2013年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 紫外(UV)ナノインプリンティングは,ナノスケール特性をモールドから基板上に作製したUV硬化レジストへ転移させるために必要な接触プロセスを含む。接触プロセスにともなう離型は欠陥の原因となり,ナノ素子製作にとって打ち勝つべき障害である。本研究では,単一モールドを用いてステップアンドリピートUVナノインプリンティングを10000回行うことを目指して,モールド-レジスト/基板界面の状態とその劣化を調べるために,離型力とモールド表面の水接触角を測定した。本研究では,凝縮性ガス,UV硬化レジスト,フルオロ界面活性剤について考察した。普通の製品名HFC-245faでよばれる凝縮性ガスとしての1,1,1,3,3-ペンタフルオロプロパン(PFP)とある型のフルオロ界面活性剤が,離型の影響を最小限にし,モールド寿命を増大させるために重要な役割を演じていることを見いだした。界面活性剤を添加したレジストを用いて,ペンタフルオロプロパン(PFP)内で6500回のインプリンティングを達成した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *押付成形 ,  *操作 ,  *剥離 ,  光重合型樹脂 ,  接触角
準シソーラス用語： *ナノインプリンティング ,  *離型 ,  紫外線硬化樹脂 ,  水接触角

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (37件)：

• 1) S.Y. Chou, P.R. Krauss, and P.J. Renstrom: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 3114.
• 2) S.Y. Chou, P.R. Krauss, and P.J. Renstrom: Science 272 (1996) 85.
• 3) S.Y. Chou, P.R. Krauss, W. Zhang, L. Guo, and L. Zhuang: J. Vac. Sci. Technol. B 15 (1997) 2897.
• 4) J. Haisma, M. Verheijen, and K. Heuvel: J. Vac. Sci. Technol. B 14 (1996) 4124.
• 5) T. Bailey, B.J. Choi, M. Colburn, M. Meissi, S. Shaya, J.G. Ekerdt, S.V. Sreenivasan, and C.G. Willson: J. Vac. Sci. Technol. B 18 (2000) 3572.

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノインプリンティング ,  離型 ,  研究