特許
J-GLOBAL ID：201303004959386491
製造工程のための管理方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (7件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 福田 浩志
, 中島 淳
, 加藤 和詳
, 福田 浩志
, 鈴木 弘一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-122621
公開番号（公開出願番号）：特開2002-318617
特許番号：特許第4878085号
出願日： 2001年04月20日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 コンピュータを用いた製造工程のための管理方法であって、
前記コンピュータが、
複数の工程を含む製造工程の複数の製造管理パラメータの理想データおよび前記理想データの許容範囲を設定するステップと、
前記理想データの許容範囲内で乱数を発生するステップと、
前記乱数に基づいて前記複数の製造管理パラメータ毎のマハラノビス空間を作成するステップと、
前記製造工程の稼動時における前記複数の製造管理パラメータのデータを所定の周期でサンプリングするステップと、
サンプリングデータを準備するステップと、
前記マハラノビス空間および前記サンプリングデータから第1のマハラノビス距離を算出するステップと、
前記複数の製造管理パラメータの中から任意の組合せパラメータデータ群を作成するステップと、
前記マハラノビス空間および前記任意の組合せパラメータデータ群から第2のマハラノビス距離を算出するステップと、
前記第1のマハラノビス距離に対する前記第2のマハラノビス距離の変位量から、前記製造工程における前記複数の工程それぞれの理想状態に対する影響度を判定するステップと、
を実行することを特徴とする製造工程のための管理方法。
IPC (4件)：
G05B 23/02 ( 200 6.01)
, G05B 19/418 ( 200 6.01)
, G06Q 50/04 ( 201 2.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
G05B 23/02 302 R
, G05B 19/418 Z
, G06F 17/60 108
, H01L 21/02 Z
